細分海德漢封閉式直線光柵尺的信號
更新時間：2018-11-20 點擊次數(shù)：3073次
細分
海德漢封閉式直線光柵尺的信號
海德漢封閉式直線光柵尺信號的細分與辨向是提高海德漢封閉式直線光柵尺測量精度的關(guān)鍵性一步。在筆者所參考的關(guān)于光柵辨向和細分電路的資料中，很多設計者都沒有綜合考慮辨向和細分的復雜性，而是把辨向和細分電路分開，辨向電路只對海德漢封閉式直線光柵尺的輸出信號進行辨向，而不是對細分后的脈沖信號進行辨向，這樣實現(xiàn)測量誤差仍是海德漢封閉式直線光柵尺的柵距。在考慮辨向功能時，應對細分后的信號進行辨向設計，否則不能提高測量精度。
海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)是用來度量各軸的坐標數(shù)值的，目前三次元測量機上使用的海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)種類很多，它們與在各種機床和儀器上使用的海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)大致相同，按其性質(zhì)可以分為機械式海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)（如精密絲杠加微分鼓輪，精密齒條及齒輪，滾動直尺）、光學式標尺系統(tǒng)（如光學讀數(shù)刻線尺，光學編碼器，光柵，激光干涉儀）和電氣式標尺系統(tǒng)（如感應同步器，磁柵）。根據(jù)對國內(nèi)外生產(chǎn)CMM三坐標測量儀所使用的標尺系統(tǒng)的統(tǒng)計分析可知，使用zui多的是光柵，其次是感應同步器和光學編碼器。有些高精度CMM三次元測量機的標尺系統(tǒng)采用了激光干涉儀。
海德漢封閉式直線光柵尺是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺位移傳感器經(jīng)常應用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用。
